[00262002]BaTi2O5薄膜择优取向生长的制备方法
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摘要：本发明涉及BaTi2O5薄膜择优取向生长的制备方法，包括有以下步骤：1)制得钡源溶液；2)将稀释，搅拌，冷却至室温，得到钡源溶液的稀释液；3)加到液态有机钛源中，搅拌、混合，得到含钡钛的混合溶液；4)将溶液中Ba2+浓度定为0.05～0.15mol/L，搅拌，陈化，得到前驱体溶胶；5)将前驱体溶胶滴到单晶基板上，在匀胶机上对前驱体溶胶进行匀胶，得到湿膜，热解，得到非晶单层薄膜；6)置于快速退火炉中，晶化，得到晶化单层薄膜；7)重复步骤5)和步骤6)多次，即可。本发明的有益效果是：本发明提供的方法实施方便，对实验设备要求不高，成本低，表面平整致密、组分均匀、颗粒分布均匀。
