技术详细介绍
本发明公开了基于多尺度角点特征提取的晶片缺陷检测方法，属于晶片缺陷检测的技术领域。本发明通过寻找各层尺度空间中相同图像区域内响应最大的角点作为神经网络的训练特征向量，进而判定晶片缺陷，避免了对环境光线变化敏感的问题，实现了对晶片缺陷的有效分类，具有高稳定性、高检测效率、低敏感度的有益效果。
客服咨询
400-649-1633
工作日：08:30-21:00
节假日：08:30-12:00
13:30-17:30