[00275921]基于层状材料的压力传感器及压电效应测量系统
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201510075426.8
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
南京大学
进入空间
所在地：江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种基于层状材料的压力传感器及压电效应测量系统，该压力传感器包括：绝缘层，绝缘层上刻蚀有一条沟道；二维材料薄膜层，二维材料薄膜层的两端横跨沟道设置于所述绝缘层上，二维材料薄膜层的中间部分悬浮在所述沟道上；在垂直于二维材料薄膜层的压力作用下，二维材料薄膜层中各原子层之间的间距以及各原子层内原子间的间距发生改变，使得二维材料薄膜层的电阻发生改变；金属电极层，包括源电极层及漏电极层，源电极层设置在所述沟道一侧的所述绝缘层上，并覆盖在二维材料薄膜层的一端上；漏电极层设置在所述沟道另一侧的所述绝缘层上，并覆盖在所述二维材料薄膜层的另一端上。本发明与传统压电元件相比，体积更小，灵敏度更高。
一种基于层状材料的压力传感器及压电效应测量系统，该压力传感器包括：绝缘层，绝缘层上刻蚀有一条沟道；二维材料薄膜层，二维材料薄膜层的两端横跨沟道设置于所述绝缘层上，二维材料薄膜层的中间部分悬浮在所述沟道上；在垂直于二维材料薄膜层的压力作用下，二维材料薄膜层中各原子层之间的间距以及各原子层内原子间的间距发生改变，使得二维材料薄膜层的电阻发生改变；金属电极层，包括源电极层及漏电极层，源电极层设置在所述沟道一侧的所述绝缘层上，并覆盖在二维材料薄膜层的一端上；漏电极层设置在所述沟道另一侧的所述绝缘层上，并覆盖在所述二维材料薄膜层的另一端上。本发明与传统压电元件相比，体积更小，灵敏度更高。
