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[00278691]一种紫外光化学水浴沉积法制备薄膜的装置

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201520237801.X

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 岭南师范学院

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所在地:广东湛江市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本实用新型涉及一种紫外光化学水浴沉积法制备薄膜的装置。该装置包括源溶液供应装置、溶液混合装置、紫外光化学反应装置和紫外光光源系统,所述源溶液供应装置通过管道与溶液混合装置连通,所述溶液混合装置的出液口通过管道与紫外光化学反应装置的进液口连通,所述紫外光化学反应装置的出液口再通过回流管道与溶液混合装置的进液口连通,所述紫外光光源系统在紫外光化学反应装置上方。本实用新型装置结构简单,通过控制紫外光源光斑的位置和形状即可控制薄膜形状,通过光照时间控制薄膜厚度,反应溶液可以循环利用,材料利用率高,非常适合用于紫外光化学水浴法制备薄膜,利于制备得到无针孔、均匀一致的高质量薄膜,适合于规模化工业生产。
摘要:本实用新型涉及一种紫外光化学水浴沉积法制备薄膜的装置。该装置包括源溶液供应装置、溶液混合装置、紫外光化学反应装置和紫外光光源系统,所述源溶液供应装置通过管道与溶液混合装置连通,所述溶液混合装置的出液口通过管道与紫外光化学反应装置的进液口连通,所述紫外光化学反应装置的出液口再通过回流管道与溶液混合装置的进液口连通,所述紫外光光源系统在紫外光化学反应装置上方。本实用新型装置结构简单,通过控制紫外光源光斑的位置和形状即可控制薄膜形状,通过光照时间控制薄膜厚度,反应溶液可以循环利用,材料利用率高,非常适合用于紫外光化学水浴法制备薄膜,利于制备得到无针孔、均匀一致的高质量薄膜,适合于规模化工业生产。

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主办单位:辽阳市科学技术局

技术支持单位:科易网

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