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[00278783]β‑Ga2O3微米带的制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他新材料技术

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710266898.0

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 辽宁师范大学

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所在地:辽宁大连市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明公开一种无需贵金属催化剂、重复性好、操作简单的β‑Ga2O3微米带的制备方法,将纯度为99.99%的金属镓单质作为反应源材料,图形化蓝宝石为衬底,将反应源材料和图形化蓝宝石衬底放在石英舟内,然后再将石英舟放入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区;通入氩气为载气,氩气流量为150ml/min;当加热温度达到850℃或900℃时通入氧气,氧气流量为2ml/min,生长时间为10~30分钟;关闭氧气,保持氩气流量,降温至100℃以下,取出制品。
摘要:本发明公开一种无需贵金属催化剂、重复性好、操作简单的β‑Ga2O3微米带的制备方法,将纯度为99.99%的金属镓单质作为反应源材料,图形化蓝宝石为衬底,将反应源材料和图形化蓝宝石衬底放在石英舟内,然后再将石英舟放入化学气相沉积设备石英管内的高温加热区;通入氩气为载气,氩气流量为150ml/min;当加热温度达到850℃或900℃时通入氧气,氧气流量为2ml/min,生长时间为10~30分钟;关闭氧气,保持氩气流量,降温至100℃以下,取出制品。

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技术支持单位:科易网

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