[00281165]一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置
交易价格:
面议
所属行业:
其他化学化工
类型:
实用新型专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201520840981.0
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
昆明理工大学
进入空间
所在地:云南昆明市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型公开一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置,属于材料制备技术领域;本实用新所述装置包括惰性气体收集器、氧气收集器、砂芯滤球、管式炉、收集器Ⅰ、收集器Ⅱ、精馏管、加热浴锅,惰性气体收集器、氧气收集器均和砂芯滤球的一端连通,砂芯滤球位于管式炉内,砂芯滤球的另一端和收集器Ⅰ连通;收集器Ⅰ位于加热浴锅内,收集器Ⅰ和精馏管连通,精馏管的底部和收集器Ⅱ连通;本实用新型所述装置反应效率高,ReOCl4和ReO3Cl通过精馏的方法很进行分离,提高了产物ReOCl4的纯度。
本实用新型公开一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置,属于材料制备技术领域;本实用新所述装置包括惰性气体收集器、氧气收集器、砂芯滤球、管式炉、收集器Ⅰ、收集器Ⅱ、精馏管、加热浴锅,惰性气体收集器、氧气收集器均和砂芯滤球的一端连通,砂芯滤球位于管式炉内,砂芯滤球的另一端和收集器Ⅰ连通;收集器Ⅰ位于加热浴锅内,收集器Ⅰ和精馏管连通,精馏管的底部和收集器Ⅱ连通;本实用新型所述装置反应效率高,ReOCl4和ReO3Cl通过精馏的方法很进行分离,提高了产物ReOCl4的纯度。