[00286795]一种硬质薄膜及制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201410313488.3
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
江苏科技大学
进入空间
所在地：江苏镇江市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本文发明公开了一种硬质薄膜及其制备方法，该薄膜是以纯W靶、纯Cu靶和纯Cr靶为靶材，利用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上，薄膜分子式为W2N-Cu，其中W含量为85at.％-100at.％，Cu含量为0at.％-15at.％，薄膜厚度在1-3μm。沉积时，真空度优于3.0×10-3Pa，以氩气起弧，氮气为反应气体，氩氮流量比10∶(6-15)，溅射气压0.3Pa。该方法生产效率高，所得薄膜兼具高硬度和优异的摩擦性能，可作为高速、宽温域下干式切削的纳米结构硬质薄膜。
本文发明公开了一种硬质薄膜及其制备方法，该薄膜是以纯W靶、纯Cu靶和纯Cr靶为靶材，利用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上，薄膜分子式为W2N-Cu，其中W含量为85at.％-100at.％，Cu含量为0at.％-15at.％，薄膜厚度在1-3μm。沉积时，真空度优于3.0×10-3Pa，以氩气起弧，氮气为反应气体，氩氮流量比10∶(6-15)，溅射气压0.3Pa。该方法生产效率高，所得薄膜兼具高硬度和优异的摩擦性能，可作为高速、宽温域下干式切削的纳米结构硬质薄膜。
