[00286802]Zr－Si－N硬质复合涂层及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200810022543.8
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
江苏科技大学
进入空间
所在地：江苏镇江市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及一种陶瓷材料技术领域的高硬度Zr－Si－N复合涂层及其制备方法。本发明在氩、氮混合气氛中采用高纯Zr靶和Si靶共焦溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体表面沉积得到，Zr－Si－N层的厚度总厚度为2～3μm。这种硬质涂层能够获得37.8GPa的高硬度，抗氧化温度随Si含量而改变。本发明所得的Zr－Si－N复合涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高于17GPa的硬度和超过850℃的抗氧化温度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。
本发明涉及一种陶瓷材料技术领域的高硬度Zr－Si－N复合涂层及其制备方法。本发明在氩、氮混合气氛中采用高纯Zr靶和Si靶共焦溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体表面沉积得到，Zr－Si－N层的厚度总厚度为2～3μm。这种硬质涂层能够获得37.8GPa的高硬度，抗氧化温度随Si含量而改变。本发明所得的Zr－Si－N复合涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高于17GPa的硬度和超过850℃的抗氧化温度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。
