技术详细介绍
在国内首次研制成功了大面积EACVD金刚石沉积自动控制系统，制备出直径120mm、厚度1.9mm的金刚石厚膜；首次设计了基于HFCVD设备的金刚石薄膜多试样连续沉积系统；CVD金刚石膜沉积设备与工艺的整体水平处于国内领先，达国际先进。系统开展了多种金刚石膜的应用研究，成功制备出与衬底结合良好的金刚石涂层刀具；成功地在陶瓷轴承内孔和外圆上获得了纳米金刚石涂层；研制成功了用于降解难处理污水的金刚石电化学电极。该成果适用于工具、生物医学、环保等领域。
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