[00293356]一种钯银合金纳米薄膜氢敏元件及制作方法
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610316228.0
交易方式：
技术转让
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技术入股
联系人：
湖北大学
进入空间
所在地：湖北武汉市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明公开一种钯银合金纳米薄膜氢敏元件及制作方法，是采用直流磁控溅射工艺，在溅射有电极的氧化硅片上，按：“溅射钯→钯纳米薄膜→热处理→溅射银→钯银复合纳米薄膜→热处理”步骤，制成氢敏元件，所述氢敏元件具备响应时间小于5s、回复时间小于10s、重复性好、选择性强且耐环境变化性高特点，在同样氢气浓度条件下的响应行为几乎完全一致，在实验室中进行多次高氢浓度氢敏实验后仍可以回复至初始状态；所述工艺具备批量化工业生产条件，并应用到实际生产中以用于检测氢气的泄漏，起到安全防护的作用。
摘要：本发明公开一种钯银合金纳米薄膜氢敏元件及制作方法，是采用直流磁控溅射工艺，在溅射有电极的氧化硅片上，按：“溅射钯→钯纳米薄膜→热处理→溅射银→钯银复合纳米薄膜→热处理”步骤，制成氢敏元件，所述氢敏元件具备响应时间小于5s、回复时间小于10s、重复性好、选择性强且耐环境变化性高特点，在同样氢气浓度条件下的响应行为几乎完全一致，在实验室中进行多次高氢浓度氢敏实验后仍可以回复至初始状态；所述工艺具备批量化工业生产条件，并应用到实际生产中以用于检测氢气的泄漏，起到安全防护的作用。
