技术详细介绍
本实用新型为一种激光刻蚀的上下振动辅助装置，本装置在激光刻蚀的工作台上固定支撑箱体，固定于推杆顶端的托板夹具固定工件。
与凸轮电机连接的凸轮轴与推杆垂直，套在推杆外的弹簧上端与支撑箱体固连，下端固连推杆底端，使推杆底端抵于凸轮侧面。
固定于支撑箱体的凸轮轴轴套上安装位置传感器。凸轮长短径的差为激光刻蚀的最大深度。
本装置使用时加工开始激光聚焦于工件表面，控制中心据位置传感器信号掌握凸轮当前状态，控制电机，使凸轮短长径侧面轮流与推杆底端接触，工件随工作台沿切削路径步进，同时上下振动，激光束在工件上的烧蚀点始终处于激光聚焦的位置。
振动还加速切槽中的残渣碎屑的排出，带走大量的热，提高激光刻蚀效率和质量。