技术详细介绍
本发明公开一种用于电子束微熔抛光的扫描方法，涉及金属表面改性技术，主要包括以下步骤：
步骤一、确定电子束束斑尺寸；
步骤二、使电子束周期性地在X‑Y平面内按圆形轨迹运动；
步骤三、真空室抽真空处理，设定电子束扫描方式以及电子束扫描工艺参数；
步骤四、工作台直线进给运动，同时进行电子束扫描来实现待加工工件的电子束微熔抛光的扫描。
本发明既可以克服常用方法的深宽比过大、能量密度分布不均匀等不足，又可满足常用金属材料表面的组织结构、机械性能、表面粗糙度等的提高和改善要求；有利于控制能量密度的均匀分布，提高表面质量、防止表面缺陷的产生。