[00316259]类金刚石硬质薄膜

类金刚石薄膜(diamond-like carbon, DLC)是一种亚稳态的非晶碳薄膜， 具有一系列类似于金刚石的多种优异性能，如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀 性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异 的生物兼容性及表面光滑等，可广泛用于机械、电子、光学、医学等领域。

本项目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定，与基体结合强，硬度、弹性模量、摩擦系 数和透光性可调控，耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具 有成膜速率高，可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜，与金刚石相 比具有更高的性能价格比。 174 南京理工大学科技成果汇编 本项目制备的类金刚石膜可用在许多领域，尤其是在机械制造和先进加工器 件方面。如汽车发动机凸轮、挺杆、陶瓷阀及其他耐磨损机械装置部件；精密模 具行业（注塑成型模具、冲压模具、半导体封装模具、吹塑成型模具等）；高精 密机械（精密轴承、精密传动机构等）；各种加工工具和切削刀具；医疗设备和 器具；磁介质保护膜、各种装饰镀膜和日常用品（手机和手表外壳、扬声器振膜、 高尔夫球具、剃须刀片等）。

技术指标

薄膜厚度：几十纳米到几个微米

硬度：25GPa以上

摩擦系数：小于0.15, 摩擦磨损过程中具有自润滑作用

沉积温度：小于200°C