[00316485]超光滑表面激光散射微缺陷检测
联系人：王东坡
所在地：安徽合肥市
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技术详细介绍
该成果基于偏振激光散射理论，通过高速激光线扫描技术结合自动对焦显微成像技术实现对超光滑光学表面（如玻璃、晶圆等）亚微米量级微观缺陷（如麻点、划痕、表面发雾和污渍等）的快速无损检测，尤其适用于大口径光学表面的微缺陷检测。该成果的缺陷检测灵敏度优于0.5 μm，检测效率大于480 mm2/s，可以实现被测表面缺陷的快速定位和自动显微成像，输出表面缺陷尺寸、数量和类型的统计信息，为超光滑表面元件的加工质量提供可靠的反馈，有助于提高元件的制作工艺。该技术目前已用于中科院上海光机所激光核聚变项目中。