[00316778]适用于制造MEMS器件的材料及其加工技术
联系人：潘明财
所在地：江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展，对微齿轮、微弹簧等MEMS器件需求越来越多，因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求，已有的研究表明，利用常规材料来成形微小零件时，材料表现出一系列明显的 尺寸效应，从材料性能到制备工艺都限制了 MEMS器件与技术的发展与应用。研 究开发了一种适用于制造MEMS器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工 工艺技术，从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。
技术指标
适用于MEMS器件制造的材料技术；
MEMS器件制造工艺技术，样品尺寸可达微、纳米量级，表面精度可达原子尺度。