[00329853]一种新型跨尺度微纳精度控制与实现技术
联系人：牟春竹
所在地：山东济南市
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技术详细介绍
项目简介:
突破当前传统典型的数控机床进给伺服系统结构，创新性的提出的具有自主知识产权的大行程高精度微纳运动实现技术。突破传统伺服运动实现技术以及当前现有压电（磁）微纳驱动技术，通过机电耦合与差动复合原理实现了大行程、高精度、高频响、线性微纳尺度级运动控制。克服了当前微纳运动技术存在的行程极小（仅仅几个mm）、刚性低、非线性蠕动等致命缺陷。该技术依据不同需求，可构建极低速下的各种等级需求的均匀无爬行的精确微纳伺服位移控制系统，成本低，精度高（0.1~0.005um）。
应用情况:
高精密加工、检测等技术领域。在需要大行程微位移的高精密加工行业具有良好的市场前景。可广泛用于诸如中凸变椭圆活塞、椭圆销轴、鼓形齿轮、中凸导轨、各类车/铣/磨等高端加工与检测数控装备、IC器件制造与检测装备、纳米晶体材料可控生长设备等。在超精密及高精度机床、显微平台、IC制造与检测、晶体材料可控生长等高端高精智能装备的广泛应用，具有颠覆性的深远意义。如果本装置在全国范围内在精密机床与检测智能装备上全面推广应用，每年可产生几亿甚至几十亿元的直接经济效益。