[00332536]基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
通过小试
专利所属地：中国
专利号：CN201420094273.2
交易方式：
资料待完善
联系人：
安徽理工大学
进入空间
所在地：安徽淮南市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述系统包括：一用于发射水平激光束的激光器、一平面镜、一光电位置敏感探测器、一数据采集卡和一计算机。本实用新型利用音圈电机带动平面镜进行相应的往复平动或利用步进电机带动平面镜进行往复式摆动使激光器发射出来的激光束进行往复平动或转动，用该激光束对微悬臂梁阵列进行扫描；然后用光电位置敏感探测器时序接收微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的偏转信号，从而监测各微悬臂梁上发生的实时反应信息。本实用新型的阵列扫描光路结构简单，容易实现；使用一根激光器对所有微悬臂梁进行扫描，保证了各根微悬臂梁上照射光斑的一致性；提升微悬臂梁阵列传感器系统性能。
摘要：基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述系统包括：一用于发射水平激光束的激光器、一平面镜、一光电位置敏感探测器、一数据采集卡和一计算机。本实用新型利用音圈电机带动平面镜进行相应的往复平动或利用步进电机带动平面镜进行往复式摆动使激光器发射出来的激光束进行往复平动或转动，用该激光束对微悬臂梁阵列进行扫描；然后用光电位置敏感探测器时序接收微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的偏转信号，从而监测各微悬臂梁上发生的实时反应信息。本实用新型的阵列扫描光路结构简单，容易实现；使用一根激光器对所有微悬臂梁进行扫描，保证了各根微悬臂梁上照射光斑的一致性；提升微悬臂梁阵列传感器系统性能。
