技术详细介绍
本发明公开一种氮化硅陶瓷基板的制备方法，包括以下步骤将硅粉、氮化硅粉、烧结助剂、分散剂混合，加入溶剂，进行第一次球磨，再加入粘接剂和增塑剂，进行第二次球磨，经真空脱泡后，得到浆料，所述硅粉与氮化硅粉的质量比为(110)～(101)；将浆料进行流延成型，干燥，得到素坯，经真空排胶后得到生坯；将生坯烧结，得到氮化硅陶瓷基板。本发明通过以氮化硅粉和价格低廉的硅粉为主要原料，并采用流延工艺制备，得到成本低、综合性能优异的氮化硅陶瓷基板。
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