技术详细介绍
本发明公开了一种锆钛酸钡陶瓷厚膜及其制备方法。所述BaZrxTi(1‑x)O3陶瓷厚膜，其中x＝0.05～0.30，所述陶瓷厚膜的厚度为5～50μm。采用流延法按所需锆钛酸钡化学计量比，以碳酸钡、二氧化钛和二氧化锆经过常压空气烧结工艺制成厚度为5～50μm的锆钛酸钡陶瓷膜。本发明的方法简便，制作成本低，周期短，易于工业流程化生产。可制备多层陶瓷器件所需的各单层厚膜，广泛应用于传感器、固态制冷以及储能器件领域。
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