技术详细介绍
本发明涉及用精密一维运动场合，可用于通用一维运动平台的精密位移补偿。本发明具体涉及基于应力刚化原理的刚度频率可调一维微动平台，包括运动子平台及对应驱动器、微动工作平台，利用通过频率调节机构调节张紧力的薄膜组作为柔性铰链，实现一维微动平台的振动频率的手动或动态调整。本发明采用上述结构，基于预应力膜，频率可调，能根据不同的工况和驱动频率，可在工作前或工作过程中调节微动平台的固有频率。
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