技术详细介绍
本发明涉及金属或非金属硬脆材料微孔内表面的抛光，是一种电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置及方法。将电泳辅助和超声加工复合在一起，电泳的吸附作用使微细磨粒吸附在工具附近，工具在溶液中的超声振动引起的正负液压冲击产生的挤压与泵吸作用，对微孔中的溶液进行扰动，以及超声空泡溃灭产生的冲击波，能够加剧溶液的扰动，从而使溶液中的超微磨粒相对于被加工表面运动达到对单微孔工件或群微孔工件抛光的目的。
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