[00336718]纳米压印模板、系统以及压印方法
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技术详细介绍
一种纳米压印模板、系统以及压印方法。纳米压印模板(10)包括：对紫外光透明的第一基板(100)；压印图形结构(105)，形成在第一基板(100)的第一表面上；加热部件(110)，形成在第一基板(100)的与第一表面相对的第二表面上，其中加热部件(110)对紫外光透明；以及第一电极对(115)，形成在第二表面上，用于将外部电源施加的电流提供给加热部件(110)从而使加热部件(110)产生热量。纳米压印模板(10)和系统将紫外固化纳米压印技术和热塑纳米压印技术无缝融合在一起，具有设备体积小、成本低、工艺简单等优点。利用该模板和系统进行热塑纳米压印时能够复制大面积微纳图形；利用该模板和系统进行紫外光固化纳米压印时能够实现提高工艺吞吐量和减少图形复制缺陷的目的。