[00339862]一种光学微腔结构、制造方法及测量方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种用于测量光学薄膜厚度的光学微腔结构、制造方法及测量方法，其中一种光学微腔结构，包括全反射层，所述全反射层承载于一衬底之上；待测薄膜层，设置于所述反射层表面；半反射膜层，设置于所述待测薄膜层表面。本申请中，通过半反射层与待测薄膜层的接触表面形成第一介质分界面，待测薄膜层与全发射膜层的接触表面形成第二介质分界面。入射光在第一介质分界面与第二介质分界面之间来回反复反射，一束光线通过第一介质分界面、第二介质分界面形成多束用以产生干涉效应的光线，使得反射谱上呈现出较明显的尖锐干涉峰，有利于在后续测量过程中，能够较准确地实现光谱拟合，提高待测薄膜厚度测量准确度。