[00375155]微纳米定位平台计量与驱动关键技术的研究
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
1、运用衍射光栅干涉方法进行位移计量，提出了一种“田”字形四象限光电管干涉条纹紧凑接收的方法，并应用取模运算与PWM技术分别消除了软、硬细分的非同步误差与直流漂移；2、提出一种采用双直角棱镜光路对光电自准直仪进行改进的方法，消除了半导体激光的发散角、光斑衍射效应等因素对测量的影响，提高了二维角度的测量精度；3、针对压电微位移器高压驱动的迟滞效应，提出了一种基于最大斜率法的微定位算法，有效改善了定位速度与定位精度；4、开发了一套基于通用硬件的二维微纳米定位平台，实现了定位平台的自动定位，具有精度高、重复性好的特点。