[00441934]适用于金刚石线切割机微型化分割的晶片载物板
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技术详细介绍
本发明提供一种适用于金刚石线切割机微型化分割的晶片牢固黏合载物板装置。利用金刚石线切割机，通过选择不同线径的切割线，可对晶片样品进行精度达0.1mm的微型化分割。但在实际操作过程中，当切割晶片的尺寸小于0.2×0.2mm时，受金刚石线的来回的切割运动、冷却液冲刷及切割设备振动的影响而易发生脱落。脱落的样品会随水流或者金刚石线的运动而丢失，导致切割成品率低，切割效率低下。本发明将提供一种晶片黏合的简易载物板装置，利用本装置可将晶片更加牢固的黏合字载物板上，减少切割时晶片脱落，提高晶片微型化分割成品效率。本装置通过在树脂陶瓷或有机玻璃材质的载物板表面开挖凹槽，凹槽尺寸稍大于分割晶体尺寸。将晶体放置于凹槽内并用黏合剂进行固定。分割过程中晶片受四周凹槽壁阻挡，难以脱落。利用本装置将有效解决晶片分割过程中易于脱落的问题，大大提高制样效率，减少了材料浪费。