[00621778]甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器
交易价格：
面议
所属行业：
纳米及超细材料
类型：
非专利
技术成熟度：
通过中试
交易方式：
合作开发
联系人：
哈尔滨工业大学
进入空间
所在地：黑龙江哈尔滨市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
瞄准我国高端装备制造提出的超精密测量重大需求，突破超精密激光稳频等多项关键技术，研制成功系列超精密甚多轴激光干涉仪。经国家计量院等权威检定，其三项核心技术参数均优于国际同类顶级仪器水平，3位院士等专家鉴定认为仪器整体达到国际先进水平、3项核心技术处于国际领先。仪器打破国外对我封锁禁运，成功应用于我国军民光刻机和国家质量量子化基准研发等领域，有力地推动了我国高端装备研发进程；还应用到德国联邦物理技术研究院高精度计量装备中，促进了超精密测量领域的国际合作。2020年新增国家自然科学基金委国际合作项目、国防重大专项工程项目、国家重点研发计划课题经费2500万元甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器，其重大价值表现在两方面：(1)作为光刻机等高端装备中不可替代的核心单元，其直接决定了装备所能达到的极限运动精度与整体性能；(2)作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测试仪器，其准确统一全国相关量值并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究。以国际上的先进光刻机为例，如下图所示，其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器，以实时测量米/秒级高速运动的掩模/硅片的相对位置，其测量精度要求已达数纳米，并将进一步突破至亚纳米量级。
瞄准我国高端装备制造提出的超精密测量重大需求，突破超精密激光稳频等多项关键技术，研制成功系列超精密甚多轴激光干涉仪。经国家计量院等权威检定，其三项核心技术参数均优于国际同类顶级仪器水平，3位院士等专家鉴定认为仪器整体达到国际先进水平、3项核心技术处于国际领先。仪器打破国外对我封锁禁运，成功应用于我国军民光刻机和国家质量量子化基准研发等领域，有力地推动了我国高端装备研发进程；还应用到德国联邦物理技术研究院高精度计量装备中，促进了超精密测量领域的国际合作。2020年新增国家自然科学基金委国际合作项目、国防重大专项工程项目、国家重点研发计划课题经费2500万元甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器，其重大价值表现在两方面：(1)作为光刻机等高端装备中不可替代的核心单元，其直接决定了装备所能达到的极限运动精度与整体性能；(2)作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测试仪器，其准确统一全国相关量值并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究。以国际上的先进光刻机为例，如下图所示，其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器，以实时测量米/秒级高速运动的掩模/硅片的相对位置，其测量精度要求已达数纳米，并将进一步突破至亚纳米量级。
