[00651677]新型脉冲直流PCVD模具表面强化设备与成套技术
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技术详细介绍
该项目将脉冲直流辉光放电引入化学气相沉积过程中，显著降低了沉积温度，并对复杂形状模具表面强化有独特效果。该设备有效容积φ450×650mm，承载能力500kg；真空炉体选用钟罩式结构，利用其自重密封，气密性好，真空极限1Pa；炉体内安装内热式加热系统，比外热式设备显著提高了热效率及加热速率。采用逆变式脉冲直流等离子电源，在较宽的范围内可实现稳定的气体放电，可施加一定的负脉冲，有利于制备导电性不良的镀层。流量控制系统采用了5路质量流量计，并采用四氯化钛气体间接流量控制技术，实现了全部工作气体的精确质量流量控制。该设备配备双蒸发器，使系统具有制备多元、多层和复合镀层的功能。