[00668310]Si/SiO纳米团簇薄膜的结构和光致发光研究
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技术详细介绍
该课题利用该技术成功地制备出了嵌埋有纳米Si团簇的SiO纳米团簇薄膜，并在400纳米附近观察到光致发光现象。透射电镜观察表明，薄膜基本上由尺寸比较均匀的颗粒组装而成，颗粒的平均尺寸约为10nm。利用x射线光电子能谱研究薄膜的化学组成，发现在一定的制备条件下，由于SiO蒸汽在形成团簇的过程中发生了歧化反应，导致组成团簇薄膜的颗粒中含有一定比例的纳米Si，这是造成薄膜光致发光的主要原因。由于纳米Si的尺寸很小，存在较强的量子尺寸效应，导致发光波长在400nm附近。另外，在393nm处还存在一个肩峰，这是SiO颗粒内的缺氧中心引起的。