[00703241]铜铟镓硒(CIGS)太阳能薄膜电池试验平台

铜铟镓硒太阳能薄膜电池试验平台由化合物薄膜材料制备和先进测试系统构成。薄膜材料制备系统包括：化合物电子薄膜材料四室连续化真空沉积系统，薄膜材料真空电阻蒸发和电子束蒸发沉积系统，中频和高频对靶溅射沉积系统，大面积Mo薄膜电极溅射沉积系统，薄膜电池顶电极蒸发制备系统，化学水浴沉积系统，真空固态源光硒化炉系统，机械划线机和固体激光划线机等组成。可蒸发、溅射沉积多种薄膜材料和进行器件的制备研究。测试系统包括：AMBIOS-XP-2型台阶仪，OLYMPUSSTM6-LM型高精度光学测量显微镜，ACCENT HL5550-LN2型霍尔效应测试仪，Magi X（PW2403）型X射线荧光光谱仪，X'Pert Pro型X射线衍射仪，太阳光模拟器与KEITHLY-2420数源表构成的薄膜电池I-V测试系统，形成了较为完整的CIGS太阳能薄膜电池的制备和测试系统，可进行10×10cm^2铜铟镓硒单体薄膜太阳电池与组件的制备，可作为我国CIGS薄膜电池、化合物电子薄膜材料与器件的研发平台，为后续发展奠定基础。