[00717374]并行式飞秒激光三维纳米光子学微结构加工技术
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技术详细介绍
该项目研究了利用飞秒脉冲激光在透明介质中进行微加工的相关基本问题。通过研究,课题组搭建了具有实时监视功能的飞秒微加工系统。在该基础上,课题组成功地制造了达曼光栅,所制备的光栅衍射效率达到设计值的80%。同时,课题组还成功制备了光子晶体、扇形光栅等。课题组发展了基于波前调整技术的并行加工方法。课题组使多束脉冲同时入射到聚焦镜上,调整光束波前曲率半径,使其焦点沿光轴发生位移,由此实现多层光学微结构的并行加工。为实现晶体中微结构加工,课题组对铌酸锂晶体非线性进行了研究。课题组研究了利用铌酸锂晶体内电场及逆压电效应实现晶体表面纳米起伏的方法,实现了表面等离激元的激发。课题组研究了磁场对铌酸锂晶体中光生电流的影响,理论及实验结果显示,不同配置下外磁场可以增强或抑制晶体中的光生电流。课题组利用针状电极扫描直写方法在铌酸锂薄片中制备了铁电畴微结构。课题组的成果将提高飞秒激光在微结构加工中的加工精度,为飞秒直写光学微结构奠定基础。
该项目研究了利用飞秒脉冲激光在透明介质中进行微加工的相关基本问题。通过研究,课题组搭建了具有实时监视功能的飞秒微加工系统。在该基础上,课题组成功地制造了达曼光栅,所制备的光栅衍射效率达到设计值的80%。同时,课题组还成功制备了光子晶体、扇形光栅等。课题组发展了基于波前调整技术的并行加工方法。课题组使多束脉冲同时入射到聚焦镜上,调整光束波前曲率半径,使其焦点沿光轴发生位移,由此实现多层光学微结构的并行加工。为实现晶体中微结构加工,课题组对铌酸锂晶体非线性进行了研究。课题组研究了利用铌酸锂晶体内电场及逆压电效应实现晶体表面纳米起伏的方法,实现了表面等离激元的激发。课题组研究了磁场对铌酸锂晶体中光生电流的影响,理论及实验结果显示,不同配置下外磁场可以增强或抑制晶体中的光生电流。课题组利用针状电极扫描直写方法在铌酸锂薄片中制备了铁电畴微结构。课题组的成果将提高飞秒激光在微结构加工中的加工精度,为飞秒直写光学微结构奠定基础。