[00720815]芯片行业超净高纯试剂
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技术详细介绍
该项目研制了芯片行业超净高纯试剂。采用电解法制备超净高纯试剂四甲基氢氧化铵，四乙基氢氧化铵，胆碱和苄基三甲基氢氧化铵。该类产品属于有机强碱，腐蚀性极强。利用电解法使用原料少，不引入其他杂质的特点制备这类产品是方便的，可行的。在电子行业中广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂，IC（集成电路）、ULSI（超大规模集成电路）及TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器件）正胶显影剂。提高超净高纯试剂制备技术，提升我国电子行业的制造水平，加快芯片等电子产品的研发速度，降低电子产品的生产成本，提高国际竞争力。超净高纯试剂国产化有利于快速提高我国电子行业的整体生产水平，摆脱国外企业的制约。降低电子产品的生产成本，提高国际竞争力。