[00725102]XGS-1型扫描光声显微镜
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类型:
非专利
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技术详细介绍
该显微镜是利用光声效应原理设计的,能用于固体材料的非破坏性检测及集成电路的分层检测。它的主要功能为:可对样品表面及亚表面进行一维或两维光声成象;可变换镜头以改变焦距及扫描范围,样品尺寸为φ15mm;光调制频率范围在30-900Hz之间可调;光源用Ar(+)及He-Ne激光器,根据需要可用以下波长4545埃,4579埃,4727埃,4765埃,4800埃,4965埃,5017埃,5145埃,5287埃,6328埃。其主要技术指标为:线分辨率2微米;亚表面成象深度200微米。经鉴定认为,该显微镜全部采用了国产先进设备和最新科研成果,属国内首创,其主要指标已达到国际同类产品的水平。
该显微镜是利用光声效应原理设计的,能用于固体材料的非破坏性检测及集成电路的分层检测。它的主要功能为:可对样品表面及亚表面进行一维或两维光声成象;可变换镜头以改变焦距及扫描范围,样品尺寸为φ15mm;光调制频率范围在30-900Hz之间可调;光源用Ar(+)及He-Ne激光器,根据需要可用以下波长4545埃,4579埃,4727埃,4765埃,4800埃,4965埃,5017埃,5145埃,5287埃,6328埃。其主要技术指标为:线分辨率2微米;亚表面成象深度200微米。经鉴定认为,该显微镜全部采用了国产先进设备和最新科研成果,属国内首创,其主要指标已达到国际同类产品的水平。