[00736901]硅片及硅片表面缺陷魔镜检测仪
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技术详细介绍
该检测仪是根据光学魔镜原理，结合现代激光相关技术研制成的一种新型现代检测仪器。可有效地检测半导体单晶生长、晶片加工、外延生长等工艺过程造成的旋涡、管道、星形结构、刀痕、桔皮、云雾、多晶、滑移线等３０余种硅片及硅外延片表面缺陷。对样品表面及亚表层的异质点，生长及加工等工艺过程中造成的各类应力，表面平整度等的检测有独到之处。该仪器用于硅抛光片、外延片的缺陷检测已具有国际领先水平。并具有操作简单，无损，快速，直观，有效，大面等特点，和很强的实用性及推广价值。