[00756642]宽幅微米结构激光图像光刻设备与应用
交易价格:
面议
所属行业:
机床
类型:
非专利
交易方式:
资料待完善
联系人:
所在地:
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
采用干涉光学头和DPSSL紫外输出激光351nm光束,产生0.5-10微米结构的干涉光点,在材料直接光刻,形成具有微米结构调制的激光衍射图像。在610mm×800mm的幅面上,直写精密激光光变图形。该装备是国际上最先进的微米、亚微米结构图像的光刻系统。主要性能:支持:矢量图形(<96mm/s)、点阵图形直写,定位精度IV型:5微米;V型:1微米。衍射图形,图像,衍射光栅,精密激光模具、精密激光加工。应用领域:1、激光图像原版;2、光柱原版;3、激光拉丝原版;4、素面彩虹版;5、精密电路输出;6、精密掩模输出。性能指标:输出定位精度:1微米;光点尺寸:1-20微米可调;光电结构精细度:0.5-10微米;图形幅面:610mm×800mm;激光波长:351nm;运行速度:10-100mm/s。市场前景及预测:国内外市场>50台/年,$35万元/台。投资规模及经济效益分析:4000万元销售,2000利润。
采用干涉光学头和DPSSL紫外输出激光351nm光束,产生0.5-10微米结构的干涉光点,在材料直接光刻,形成具有微米结构调制的激光衍射图像。在610mm×800mm的幅面上,直写精密激光光变图形。该装备是国际上最先进的微米、亚微米结构图像的光刻系统。主要性能:支持:矢量图形(<96mm/s)、点阵图形直写,定位精度IV型:5微米;V型:1微米。衍射图形,图像,衍射光栅,精密激光模具、精密激光加工。应用领域:1、激光图像原版;2、光柱原版;3、激光拉丝原版;4、素面彩虹版;5、精密电路输出;6、精密掩模输出。性能指标:输出定位精度:1微米;光点尺寸:1-20微米可调;光电结构精细度:0.5-10微米;图形幅面:610mm×800mm;激光波长:351nm;运行速度:10-100mm/s。市场前景及预测:国内外市场>50台/年,$35万元/台。投资规模及经济效益分析:4000万元销售,2000利润。