[00771845]大面积红外高透射率类金刚石碳膜研制
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技术详细介绍
大面积红外高透射率类金刚石碳膜作为Ｇｅ透镜的增透膜可用于红外遥感系统、红外成象系统，对抗系统中。该膜主要利用射频等离子体沉积技术，在优化成膜参量下，可获得大面积均匀的膜。如果在两面抛光的Ｇｅ基片上分别镀有１／４入厚的膜，可在入处获得高红外透射率。在较高离子能量轰击下，其膜内ＳＰ（’３）相对碳含量高，最高为９０％。其碳的平均配位数接近于金刚石的配位数４。所制得膜性能好，光学折射率为２，λ＝１０．６μ（，ｍ）处，ＤＬＣ膜／Ｇｅ／ＤＬＣ膜系统的红外极大透射率已达到９４．５％。在φ＝１００ｍｍ的范围内，中心与边缘的透射率仅差３％。该膜在８００℃下退火一个小时后，其膜内ＳＰ（’３）碳相对组分未见任何下降，热稳定性好。