[00806069]离子掩模法制作玻璃掩埋光波导器件的方法
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技术详细介绍
该项目是一种离子掩模法制作玻璃掩埋光波导器件的方法。包括用真空蒸发或者射频溅射技术在玻璃表面淀积一层金属铝薄膜；用常规光刻工艺刻出光功分器图形，这里，将要形成波导的区域表面有金属薄膜覆盖，而非波导区的金属薄膜在光刻时被除去；接着用离子交换技术进行钾—钠离子交换制作离子掩膜；去掉金属掩膜后，进行银—钠离子交换；然后是钠离子交换使表面的钾、银离子浓度降低，形成掩埋的光波导；最后进行退火处理。本发明用交换离子层作掩膜，掩膜本身深入玻璃表层内部，具有数微米的深度，这样它不仅在深度方向上限制了离子的交换，而且在玻璃表层的横向也限制了离子的横向扩散，使波导的深宽比得到提高，有利于制作深掩埋的圆形波导。