[00828604]微型化法-珀腔阵列光谱探测器集成化技术的研究
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技术详细介绍
该项目首次提出利用微电子技术和MEMS技术，根据法－珀腔的光学滤波原理，研究不同腔长法－珀腔组成的高密度法－珀腔阵列、微透镜、光电探测器阵列和信号电路一体化混合集成的相关基础理论和关键技术，以构成一种无活动部件的集成化微型光谱仪的新思想和新方法，是实现光谱仪器传感器化的一次全新的探索研究。该集成法－珀腔阵列光谱探测器具有体积很小、高光通量、高灵敏和高可靠性等优点，可满足工农业检测、环境监测、医学、科研以及航空航天等领域的需求。具有重大的科学意义和广泛的应用前景。