[00828975]DFI-4型双频激光干涉仪
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技术详细介绍
内容简介：最大测量长度：10m、40m；测量分辨率：λ/2、λ/4；测量精度：±(0.16+5×10<'-7>)μm。使用范围及市场预测：可用于大长度、位移的精密测量，例如三座标测量机，数控机床的定位精度检测，大尺寸的端距测量，直线度，平面度测量、小角度和速度测量等，与光电瞄准装置配合使用可用于各种线纹尺的检测。投产条件及效益分析：具有光机电生产条件即可生产。光学零件加工，镀膜。机械零件加工及表面处理与精饰。万用表、示波器、电源及基本焊接工具。服务方式：提供产品及技术服务。已定型小批量生产。