[00833079]电力半导体器件表面电场测试仪(探针、激光法)
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技术详细介绍
该仪器用于测量电力半导体器件表面电场分布和表面空间电荷区宽度，用以研究表面造型、浓度分布、结构设计、温度、电压等对表面电场分布和表面空间电荷区宽度的影响。该仪器包括金属探针接触式测量和激光探针不接触式测量两部份。金属探针直径小于５０微米，激光探针直径小于１５０微米，试样移动最小步距可为５～１０微米。试样测试电压０～５０００伏，试样直径小于６０毫米，测量温度范围０～２５０℃。该仪器是深入研究电力半导体器件表面特性的有效手段，对改进半导体器件的表面造型、保护及结构设计，提高产品成品率有重要作用。