[00834452]清洁、节能的大型真空蒸发镀膜设备
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技术详细介绍
该项成果是世界上第一台无扩散泵、无罗茨泵、无油蒸汽污染、低能耗的大型真空蒸发镀膜设备。传统蒸发镀膜设备采用扩散泵和罗茨泵为主泵，存在如下缺点：能耗高，一台5m<'3>的蒸发镀膜设备，扩散泵和罗茨泵的总能耗达30kW，年耗电22万度；有油蒸汽污染，膜层色泽泛黄，结合力低；该项成果采用深圳大学原创性科技成果分子增压泵，与传统低温捕集器组合，取代蒸发镀膜设备的扩散泵和罗茨泵，达到：抽气能耗节省80%，每台设备年节电18万度；获得清洁真空，消除膜层泛黄现象，提高膜层结合力；一年半节约的电费可收回增加的设备费用。技术创新：该项成果是世界上第一台无扩散泵、无罗茨泵、无油蒸汽污染、低能耗的大型真空蒸发镀膜设备。应用领域：真空蒸发镀膜。技术指标：降低抽气能耗80%，消除油蒸汽污染，显著提高产镀膜品的质量。合作方式：技术转让，合作开发。