[00836623]TAB<,2>导电陶瓷材料及制品
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非专利
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技术详细介绍
TiB<,2>基导电陶瓷蒸发舟是真空蒸镀领域的一个关键易耗部件,可用于真空镀铝、多层膜电容器蒸镀及显像管金属化等方面。TiB<,2>基导电陶瓷蒸发舟生产工艺有两种,即反应烧结法和直接烧结法。反应烧结法是以Ti和BN为原料通过两者在热压烧结过程中相互反应形成TiB<,2>和BN的复合材料。该种工艺起步于七十年代初,其主要缺点在于合成物相的组成难于控制。因此,产品成品率低、电导率不稳定、耐金属熔蚀性差、使用寿命短。直接烧结法则采用高纯TiB<,2>和BN直接热压烧结,从而克服了反应烧结法的种种缺点,使产品成品率和使用寿命大大提高。国外发达国家在八十年代中期淘汰了反应烧结法而普遍采用直接烧结法,该种工艺的变革取决于掌握高纯TiB<,2>陶瓷粉末的生产工艺。在国内,由于受到TiB<,2>原料的限制,TiB<,2>基导电陶瓷蒸发舟的生产还停留在采用反应烧结法的水平。目前,国内产品生产工艺落后、质量低劣,高质量的蒸发舟全部依赖进口。该校材料复合新技术国家重点实验室采用自蔓延高温合成还原反应技术制备的TiB<,2>陶瓷粉料和适当的BN粉料,经过烧结工艺研究和优化,制备出了性能优异的TiB<,2>-BN导电陶瓷蒸发舟。该项目是国家863项目成果一部分。主要技术指标:该项目产品(150#):电阻率:700±10Ω.cm(可调);使用寿命>14小时;价格100(成本)元/只;Advanced Ceranics Corp. (美国,150#):电阻率:700±10Ω.cm(可调);使用寿命>14小时;价格200(成本)元/只。效益分析:由于该技术能生产大规格的蒸发舟,产品性能达到进口蒸发舟性能水平,生产成本仅为进口产品的1/2,可使生产企业获得较好的经济效益。
TiB<,2>基导电陶瓷蒸发舟是真空蒸镀领域的一个关键易耗部件,可用于真空镀铝、多层膜电容器蒸镀及显像管金属化等方面。TiB<,2>基导电陶瓷蒸发舟生产工艺有两种,即反应烧结法和直接烧结法。反应烧结法是以Ti和BN为原料通过两者在热压烧结过程中相互反应形成TiB<,2>和BN的复合材料。该种工艺起步于七十年代初,其主要缺点在于合成物相的组成难于控制。因此,产品成品率低、电导率不稳定、耐金属熔蚀性差、使用寿命短。直接烧结法则采用高纯TiB<,2>和BN直接热压烧结,从而克服了反应烧结法的种种缺点,使产品成品率和使用寿命大大提高。国外发达国家在八十年代中期淘汰了反应烧结法而普遍采用直接烧结法,该种工艺的变革取决于掌握高纯TiB<,2>陶瓷粉末的生产工艺。在国内,由于受到TiB<,2>原料的限制,TiB<,2>基导电陶瓷蒸发舟的生产还停留在采用反应烧结法的水平。目前,国内产品生产工艺落后、质量低劣,高质量的蒸发舟全部依赖进口。该校材料复合新技术国家重点实验室采用自蔓延高温合成还原反应技术制备的TiB<,2>陶瓷粉料和适当的BN粉料,经过烧结工艺研究和优化,制备出了性能优异的TiB<,2>-BN导电陶瓷蒸发舟。该项目是国家863项目成果一部分。主要技术指标:该项目产品(150#):电阻率:700±10Ω.cm(可调);使用寿命>14小时;价格100(成本)元/只;Advanced Ceranics Corp. (美国,150#):电阻率:700±10Ω.cm(可调);使用寿命>14小时;价格200(成本)元/只。效益分析:由于该技术能生产大规格的蒸发舟,产品性能达到进口蒸发舟性能水平,生产成本仅为进口产品的1/2,可使生产企业获得较好的经济效益。