[00873368]MEMS部件设计仿真库系统

软件是用于制造业、微电子行业MEMS研究开发的辅助设计CAD软件系统。软件主要针对MEMS中静电驱动器的典型结构进行数值模拟，提供了三层极板结构静电驱动器、两层结构1/4圆形下电极静电驱动器以及两层结构方形下电极静电驱动器的结构尺寸辅助设计，同时与虚拟显示环境相结合，实现虚拟设计和模拟的功能。该成果提供一个MEMS部件设计仿真库系统，已经申请软件著作权，并给出了若干种典型结构的设计仿真，在该软件系统上，可以继续增加结构类型，成为MEMS设计的有力辅助工具。作为软件，总是处于不断升级与完善，该软件成果也一样。MEMS技术是一迅速发展的技术并且具有很大的技术发展空间，因此，软件也应不断地发展、充实和完善。软件的推广与完善与技术和材料的发展和应用有很大的关系。由于软件的研究自主性较大，投资规模有限，因此，软件的完善周期较短，投入较少。由于研究与开发工作课题组在项目完成后一直在继续，在不断地提高水平与完善功能，所需的人、财、物资源量有保证，设计软件环境的开发工作正在进行中，总体基础已完全具备。关键是要推广该软件的应用。软件成果转化的关键问题在两点：成果的实用化研究；成果的商业化操作。对于该成果，要实现成果的产业化必须解决的实用化问题包括模型的稳定性问题、计算精度与效率的矛盾问题，这部分工作正在进行。第二个面临的问题是商业化开发，这个工作需要商业化运作的公司支持，作为软件要想实现产业化存在一定的困难，虽然投资较小，但软件的推广所面临的非技术问题较多。合作方式：产品开发合作。