[00874914]TDR-150型单晶炉(12英吋MCZ综合系统)

按照合同的规定，由西安理工大学和北京有色金属研究院共同承担的TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)的课题任务，其主要研究内容为：研制出适应于中国满足线宽0.13-0.10微米、超大规模集成的技术需求的12英寸集成电路用硅单晶生产设备。该课题所研制的150型单晶炉生长12英寸硅单晶在国内尚属首例。课题组在大量研究和实验基础上，研制成功了TDR-150型单晶炉。在机械总体设计、自动控制系统设计、工艺设计与研究等方面取得了多项创新性成果。根据用户使用报告，该装备已成功拉制了直径12英寸无位错硅单晶，总体性能基本满足集成电路级硅单晶生长要求。课题组在TDR-150型单晶炉研制过程中付出了艰苦的努力，取得了很好的进展。已研制成功的设备可用于大尺寸电子级硅单晶、高档太阳能电池用硅单晶和靶材用硅单晶的生产，已经具备产业化生产能力，并具有很好的性价比。该课题所研制的150型单晶炉，对中国集成电路产业向低成本的大直径、超大规模发展起到积极的促进作用，同时可以满足光伏产业提供太阳级硅单晶生长需要，潜在市场巨大。