[00881251]铌酸锂晶体集成光学基片折射率测量装置
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技术详细介绍
该装置采用“耦合棱镜法”，其特点为：１．在光路中引入差分法，大大降低了全内反射角的判读误差；２．首次应用电压控制液晶旋光器件，保证了电控ＴＥ、ＴＭ模转换，避免了机械振动，造价低廉，利于自动化操作；３．用“自准直法”确定零位绝对值，其结果＜５″（秒）；４．优选了耦合棱镜的位置，使其在全内反射角附近每旋转一度，光点位移＜１０μｍ；５．Ｈｅ－Ｎｅ激光准直光束发散角低于４×１０的四次方弧度。使用该装置实测铌酸锂晶体基片，折射率精度为１×１０的负四次方，重复性优于５×１０的负五次方。该装置适用范围较宽，可实现一机多功能。