[00915482]低温晶化硅薄膜太阳电池的研究
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
该项目建立了比较完整的器件质量级微晶硅材料的表征体系以及达到器件质量级微晶硅材料的制备参数；发现衬底的结构对电池的性能参数有很大影响；得到了沉积参数与电池性能之间的变化关系；采用VHF-PECVD技术制备出优质P层微晶硅材料；提出提高叠层电池效率的新途径；通过调整VHF-PECVD的沉积参数，提高了p层和i层的厚度均匀性；解决了大面积集成型a-Si/μc-Si叠层电池中的微晶硅材料的激光划线问题；总结出一套具有特色的集成型非晶硅/微晶硅叠层太阳电池组件工艺流程；对在不同沉积系统中制备的顶电池和底电池，采用H等离子处理方法改善了性能；采用VHF-PECVD技术，制备了单结微晶硅薄膜太阳电池。该成果达到国际先进水平。