[00932027]新型硅基薄膜太阳电池大面积低成本技术研究
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技术详细介绍
该项目在国内首次建成兼有当前国际三大低成本高速沉积技术、性能指标国际一流的星型多功能薄膜自动化沉积系统。自主设计出具有三大低成本高速沉积技术，兼有常规射频、中频CVD技术的新型多功能自动沉积系统。自主开发出制备高效硅薄膜电池的工艺流程自动控制软件，软件具有高度灵活性，可根据需要修改工艺参数。特殊设计外加热器和气体反应源集成配送结构，薄膜不均匀性小于±5％。采用该系统使非晶硅沉积速率提高到50A/s，微晶硅电池效率达到9.2％，非晶硅/微晶硅叠层电池效率11.8％；100cm^2非晶硅/微晶硅叠层电池效率9.7％。在国内首次建成制备大面积透明ZnO薄膜的MOCVD系统，并制备出20cm*20cm，不均匀性小于5％的ZnO透明导电薄膜。