[00932885]真空设备系列罗茨干式真空泵机组
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技术详细介绍
该成果解决了洁净真空获得系统与集成电路制造工艺的优化组合、理论型线设计与多种转子形式的组合、密封结构和振动/噪声抑制技术、表面防腐技术、控制/反馈软件与通用控制接口结合、电机与驱动系统设计等关键技术，具有完全自主知识产权，可应用于标准/中度腐蚀/强度腐蚀等各种工艺环境，技术水平达到国际先进水平。产品具有启动快、抽速大、寿命长、能耗低、无污染、操作简便、自动控制、可高温运行、远程监控、可靠性高等特点，可广泛应用于集成电路、太阳能光伏、LED等新兴领域以及石油化工、生物制药等工业领域。