[00947431]基于多个子光栅的平顶型蚀刻衍射光栅波分复用器件
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技术详细介绍
该种基于多个子光栅的平顶型蚀刻衍射光栅波分复用器件包括输入波导、自由传播区、凹面衍射光栅、输出波导。凹面衍射光栅的结构为由两个子光栅或两个以上的子光栅组成的凹面衍射光栅系统，子光栅A<,[1]><,[1]>～A<,[n]>的会聚点为B<,[1]>，子光栅B<,[1]>～B<,[n]>的会聚点为O<,[2]>。将O<,[1]>和O<,[2]>间的距离调整到一个适当的值，这两个场的叠加就使得像面上的总的场分布变为双峰型，从而使器件频谱响应的形状变成平顶形。该成果没有增加额外的工艺步骤，并且不增加器件的尺寸，以较小的功率代价使器件具有宽通带的特性。