[00978144]耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发
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技术详细介绍
该项目属微机械、仪器仪表与传感器等多学科交叉领域。针对航空航天、石油化工、军工等领域高温、高过载等恶劣环境下的压力测量难题，开展了耐高温压力传感器设计、制造等关键技术研究，主要内容如下：研究了耐高温压力传感器敏感元件的结构设计和制备工艺，发明了耐高温传感器的核心元件-耐高温固态压阻力敏芯片，突破了传感器在高温250℃下的压力测量瓶颈；发明了敏感元件和弹性元件的无应力"固-固"封装工艺和多种具有抗瞬时超高温冲击等特点的耐高温压力传感器结构，解决了瞬时超高温(≥2000℃)及火炮、炸药柱起爆等条件下的高温动态超高压力测量难题。开发的系列产品已实现批量生产，打破了国外垄断，促进了传感器行业的技术进步。鉴定结论为：该成果的性能指标和总体水平达到国际先进水平，在敏感元件集成设计和传感器结构设计等方面达到国际领先水平。