[00999945]微机械光开关、光开关阵列
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技术详细介绍
该成果是利用硅片制作静电驱动微反射镜型扭臂结构的微光电子机械系统(MOEMS)光开关、光开关阵列。微机械光开关由在硅片上制作的上电极、微反射镜、扭臂和自对准光纤槽，玻璃片、氮化硅或二氧化硅绝缘层，以及作为下电极的铝膜组成。微反射镜的镜面与硅片表面相垂直。微反射镜的厚度为3-5微米，长度和高度分别为100-200微米，上电极的厚度为10-20微米，扭臂宽度为10-15微米，长度为500-700微米。该微机械光开关具有制作工艺简单、成品率高、制作成本低等特点。